高纯气体的核心作用
文章作者:system 上传更新:2025-10-31
高纯气体的核心作用
1. 半导体与电子行业:芯片制造的'血液'
在集成电路(IC)和液晶显示器(LCD)生产中,高纯气体是刻蚀、沉积、光刻等工艺的核心材料。例如:
- 高纯氮气(N₂):用于保护气氛,防止氧化。
- 高纯氩气(Ar):用于等离子体刻蚀。
- 高纯氢气(H₂):用于还原反应,提升薄膜质量。
任何微量杂质都可能导致芯片良率下降,因此气体纯度直接影响产品性能。
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