一、高纯气体的定义与分类

高纯气体是指纯度极高（通常≥99.999%）、杂质含量极低的气体，根据应用需求可分为：

- 电子级气体（如高纯氮气、氩气、氢气）：用于半导体芯片制造、液晶面板生产等。

- 医疗级气体（如高纯氧气、二氧化碳）：用于呼吸治疗、麻醉、细胞培养等。

- 分析级气体（如高纯氦气、氩气）：用于气相色谱、质谱等精密仪器。

- 特种气体（如硅烷、六氟化硫）：用于光伏、电力绝缘等特殊领域。